Rasterelektronenmikroskope

Am IMM werden Rasterelektronenmikroskope für verschiedene Anwendungen von der Orientierungsbestimmung über EBSD bis zur in situ Untersuchung belasteter Zugproben betrieben. Zur Verfügung stehen ein Zeiss LEO1530 FE-SEM mit EBSD System, ein JEOL JSM-6100 mit Laserheizbühne für Untersuchungen bei hohen Temperaturen sowie ein JEOL JSM-840 mit Druck/Zug-Modul.

Anwendungsmöglichkeiten:
  • Mikrostrukturcharakterisierung durch EBSD
  • hochauflösenden Topographie- und Kompositionsaufnahmen
  • in situ EBSD bei hohen Temperaturen (z.B. Untersuchung von Phasenumwandlungen)
  • in situ Untersuchung von Bi- und Trikristallen
  • in situ Untersuchung von Zugproben während der Verformung
Technische Daten:
  • LEO1530: Auflösung 1nm bei 20KV. SE-, QBSD- und EBSD-Detektor
  • JSM-6100: Laserheizbühne für bis zu T=1300°C und Aufheizraten bis zu 30K/s. SE- und EBSD Detektor. Effektive Auflösung für EBSD bei hohen Temperaturen ca. 1µm
  • JSM-840: Druck/Zug-Modul mit Belastung bis zu 500N. Probenheizung bis T=600°C. SE-Detektor. Auflösung 12nm bei 20KV