Das neueste Großgerät am IMM ist seit Sommer 2014 ein Dual-Beam-FIB Helios Nanolab 600i der Firma FEI. Das Rasterelektronenmikroskop verfügt neben seiner hochauflösenden Elektronensäule zusätzlich über einen fokussierten Gallium-Ionenstrahl (Focused Ion Beam). Mit diesem ist es möglich, gezielt Micropillars für Mikrokompressionsversuche oder Lamellen für TEM-Untersuchungen aus dem Probenmaterial herauszuschneiden. Zuvor können die Proben mit Hilfe der angeschlossenen EBSD- und EDS-Systeme von EDAX/ Ametek und den verschiedenen eingebauten Detektoren (SE und QBSD) umfassend analysiert werden. Durch die abwechselnde Verwendung von Elektronen- und Ionenstrahl lassen sich geeignete Proben dabei in 3D mit EDS und EBSD, auch kombiniert, vermessen. Herauspräparierte TEM-Proben lassen sich zusätzlich direkt im Gerät mittels des STEM-Detektors untersuchen.