Nanomechanics inSEM-III

Um die Entwicklung der mikromechanischen Prüfverfahren voranzutreiben, wurde Ende 2016 der InSEM-III in Betrieb genommen. Das Gerät ermöglicht in-situ Nanoindentation, Mikro-Kompression und Mikrobiegen.

Das Equipment ist bis zu 800°C aufheizbar und verfügt über eine unabhängige Spitzen- und Probenheizung, um den thermischen Drift zu verringern. Schließlich erlauben dynamische Messungen und eine hohe Datenerfassungsrate die kontinuierliche Messung von Härte und Modul während der Indentierung, was die genaue Ermittlung der Eigenschaften von dünnen Schichten ermöglicht.

Anwendungsmöglichkeiten:
  • in-situ (HT) Nanoindentation
  • Mikrokompression
  • Mikrobiegen
Technische Daten:
  • Maximale Eindringtiefe 50 µm
  • Eindringgenauigkeit 0,02 nm
  • Typische Störung <0,1 nm
  • Maximallast 50 mM
  • Kraftauflösung 3 nN
  • Datenerfassungsrate 500 Hz
  • Dynamische Anregungsfrequenz 0,1 Hz – 1 kHz
  • separate Spitzen- und Probenheizung zur Verringerung des thermalen Drifts
  • max. 800°C
  • Vakuum <106 mbar